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臨界尺寸掃描電子顯微鏡

簡要描述:HITACHI CG 4100是一種掃描電子顯微鏡(SEM),設(shè)計(jì)用于提供非常小的物體和粒子的詳細(xì)3維圖像。它具有模塊化設(shè)計(jì),允許使用一系列不同的檢測器和級來定制配置。基本構(gòu)型包括一個(gè)帶電子槍的真空室和一個(gè)用于試樣安裝的舞臺。

分辨率:1.8 nm
產(chǎn)量:42片/小時(shí)
MAM 時(shí)間:2.8 秒
級著陸精度:±1μm

  • 產(chǎn)品型號:CG 4100
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-07-26
  • 訪  問  量:200

產(chǎn)品分類

CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

HITACHI CG 4100臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)

分辨率:1.8 nm產(chǎn)量:42片/小時(shí)MAM 時(shí)間:2.8 秒級著陸精度:±1μm

Hitachi CG 4100 是一款關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡 (CD-SEM),專為半導(dǎo)體和納米技術(shù)領(lǐng)域的高性能應(yīng)用而設(shè)計(jì)。主要規(guī)格和功能包括:

  1. 分辨率:CG 4100 提供高分辨率成像功能,分辨率低至 1.8 納米,這對于詳細(xì)分析材料和半導(dǎo)體器件中的小特征至關(guān)重要。

  2. 吞吐量:該系統(tǒng)每小時(shí)可處理多達(dá) 42 片晶圓,適用于大批量制造環(huán)境。

  3. 載物臺精度:載物臺著陸精度為 ±1 微米,確保精確定位以實(shí)現(xiàn)一致的測量。

  4. 高壓操作:顯微鏡在高達(dá)150kV的加速電壓下工作,為更好的成像和分析提供高能量。

  5. 成像和分析:CG 4100 配備先進(jìn)的電子光學(xué)元件和強(qiáng)大的電子槍,可提供出色的圖像清晰度和清晰度。它還包括自動對焦和導(dǎo)航系統(tǒng),以提高易用性和效率。

  6. 軟件和自動化:CG 4100 具有智能自動化功能,包括自動機(jī)械臂、圖像分析軟件和可定制的配置,以滿足各種用戶需求。這樣可以快速準(zhǔn)確地收集和分析數(shù)據(jù)。

  7. 模塊化設(shè)計(jì):模塊化設(shè)計(jì)允許使用不同的探測器和載物臺進(jìn)行可定制的配置,以適應(yīng)特定應(yīng)用,例如吸收和發(fā)射光譜、高分辨率成像和能量色散光譜。

這些特性使 Hitachi CG 4100 成為各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用中詳細(xì) 3D 成像和分析的理想選擇


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