全國服務(wù)咨詢熱線:
13544051612
13544051612
當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 光學儀器及設(shè)備 > 電子顯微鏡 > CX 200掃描電子顯微鏡
簡要描述：Applied Materials CX 200 掃描電子顯微鏡設(shè)備概述型號: SEMVision CX 200制造商: Applied Materials應(yīng)用領(lǐng)域: 半導體制造環(huán)境主要特性光學系統(tǒng): 0.2 NA 光學系統(tǒng)高分辨率彩色相機電動龍門CO2激光準直光學設(shè)計低噪聲冷卻CCD相機可調(diào)LED光源多測量模式
產(chǎn)品型號：CX 200廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新日期：2024-08-01訪 問 量：173
相關(guān)文章
ARTICLES詳細介紹
型號: SEMVision CX 200
制造商: Applied Materials
應(yīng)用領(lǐng)域: 半導體制造環(huán)境
光學系統(tǒng): 0.2 NA 光學系統(tǒng)
高分辨率彩色相機
電動龍門
CO2激光準直光學設(shè)計
低噪聲冷卻CCD相機
可調(diào)LED光源
多測量模式
改進的性能和產(chǎn)量監(jiān)控
支持先進集成電路設(shè)計的制造
檢測微觀尺度的缺陷和非均勻區(qū)域
自動化掩模書寫功能
自動化檢查技術(shù)
單晶圓檢測速度: ≤90 s (在流水線模式下)
單晶圓缺陷吞吐量: ≤500 DPH (可選600 DPH)
單晶圓吞吐量: ≥8 晶圓/小時 (50個缺陷/晶圓)
清潔等級: Class 1 可接受外界條件影響的結(jié)霜對機組性能的影響
API參數(shù): +/-1.5um API (Automatic Process Control)
Applied Materials CX 200掃描電子顯微鏡是一款高性能、高精度的掩模和晶圓檢測設(shè)備，憑借其先進的光學系統(tǒng)、強大的圖像處理能力和高效的自動化功能，能夠滿足現(xiàn)代半導體生產(chǎn)中對缺陷檢測的嚴格要求。
產(chǎn)品咨詢
全國統(tǒng)一服務(wù)電話
0755-82122229
電子郵箱：[email protected]
公司地址：深圳市光明區(qū)光明街道碧眼社區(qū)華強創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)園3棟A座
掃碼加微信
