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顆粒檢測儀

簡要描述:KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統,廣泛應用于半導體制造領域。該設備由KLA-Tencor公司生產,具有多種功能和特點。
功能與應用:
表面分析:SFS6420是一種多功能的表面分析工具,能夠檢測、計數和測量亞微米級顆粒,適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。
缺陷檢測:該系統可以進行高分辨率的缺陷檢測,包括掩模對準和覆蓋精度的檢測。

  • 產品型號:SFS6420
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新日期:2024-08-01
  • 訪  問  量:146

詳細介紹

KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀


產品概述

名稱:KSLA-Tencor SFS6420

制造商:KLA-Tencor

尺寸:8英寸

主要功能

粒子檢測與計數

用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子

提供比0.10 μm更優敏感性的精細度

表面分析工具

設計用于滿足廣泛應用的需求

利用最新光學技術,易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力

高速自動化測試

能實時分析現場條件,適用于在線和離線應用

每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力

技術特點

多傳感器技術

提供創新的特性,如多傳感器技術

實時信息提供

通過統計分析和趨勢分析為用戶提供與產品質量相關的實時信息

應用領域

晶圓檢測系統

用于監控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

與KLA-Tencor的其他設備兼容,用于PCB組裝板下的WFR檢測



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