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晶圓檢測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述:KLA-Tencor AIT XP 晶圓檢測(cè)儀是一款功能強(qiáng)大且高效的晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備,通過(guò)其先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù)、自動(dòng)化功能和模塊化設(shè)計(jì),能夠顯著提升半導(dǎo)體制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)能力和生產(chǎn)效率。該系統(tǒng)能夠在80秒內(nèi)完成整個(gè)圖案化晶圓的檢查,并且具有較高的缺陷捕獲率,這使得其相比現(xiàn)有系統(tǒng)可以提高多達(dá)75%的吞吐量。KLA-Tencor AIT XP 使用暗場(chǎng)顯微鏡技術(shù)進(jìn)行缺陷檢測(cè),結(jié)合混合模式檢測(cè).

  • 產(chǎn)品型號(hào):AIT XP
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-08-08
  • 訪  問(wèn)  量:108

詳細(xì)介紹

KLA-Tencor AIT XP 晶圓檢測(cè)儀

是一種先進(jìn)的晶圓測(cè)試和計(jì)量系統(tǒng),專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)利用高精度的成像技術(shù)和專有算法,能夠快速、準(zhǔn)確地識(shí)別和分析晶圓上的缺陷,從而提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

KLA-Tencor AIT XP 系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):

  1. 高速度和高通量:該系統(tǒng)能夠在80秒內(nèi)完成整個(gè)圖案化晶圓的檢查,并且具有較高的缺陷捕獲率,這使得其相比現(xiàn)有系統(tǒng)可以提高多達(dá)75%的吞吐量

  2. 先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù):KLA-Tencor AIT XP 使用暗場(chǎng)顯微鏡技術(shù)進(jìn)行缺陷檢測(cè),結(jié)合混合模式檢測(cè)(Mixed Mode Detection),以滿足0.13微米及更小設(shè)計(jì)規(guī)則的需求

  3. 模塊化設(shè)計(jì):該系統(tǒng)包括一個(gè)模塊化的片上芯片(SOC),配備激光二極管陣列,以提高測(cè)量的可靠性和重復(fù)性

  4. 自動(dòng)化功能:KLA-Tencor AIT XP 配備了自動(dòng)探針加載和高級(jí)算法,以確保精確的質(zhì)量保證評(píng)估和過(guò)程控制

  5. 廣泛的應(yīng)用范圍:該系統(tǒng)不僅適用于掩模車間和晶圓廠,還適用于其他半導(dǎo)體鑄造廠,支持多層能耗層計(jì)量和深度學(xué)習(xí)及人工智能等先進(jìn)技術(shù)

  6. 動(dòng)態(tài)優(yōu)化:通過(guò)使用KLA的NexTek技術(shù),AIT XP能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控并優(yōu)化光刻模塊工藝和非光刻模塊工藝,從而提升整體工藝控制水平

總之,KLA-Tencor AIT XP 是一款功能強(qiáng)大且高效的晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備,通過(guò)其先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù)、自動(dòng)化功能和模塊化設(shè)計(jì),能夠顯著提升半導(dǎo)體制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)能力和生產(chǎn)效率。

AIT XP 系統(tǒng)概述

商業(yè)可用系統(tǒng)

高速檢測(cè)高級(jí)設(shè)備

單次通過(guò)圖案晶圓

技術(shù)特點(diǎn)

深場(chǎng)探測(cè)系統(tǒng)

支持0.13um及以上設(shè)計(jì)規(guī)則過(guò)程

高缺陷捕獲率,吞吐量提升75%

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造過(guò)程控制

晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備

系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)

自動(dòng)化探針加載

先進(jìn)算法提高準(zhǔn)確性和重復(fù)性

模塊化系統(tǒng)設(shè)計(jì)

市場(chǎng)定位

面向半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)

提供高水平的工藝控制和資產(chǎn)利用率



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