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晶圓檢測儀

簡要描述:KLA-Tencor Puma 9000 晶圓檢測儀
是一款先進的晶圓檢測和計量設備,廣泛應用于半導體制造業。該系統利用KLA-Tencor創新的Streak™暗視野成像技術,成功克服了傳統掃描激光與光電倍增管(PMT)式檢測系統的限制,從而達到業界領xian的效能。

  • 產品型號:Puma 9000
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新日期:2024-08-08
  • 訪  問  量:112

詳細介紹

KLA-Tencor Puma 9000 晶圓檢測儀

是一款先進的晶圓檢測和計量設備,廣泛應用于半導體制造業。該系統利用KLA-Tencor創新的Streak™暗視野成像技術,成功克服了傳統掃描激光與光電倍增管(PMT)式檢測系統的限制,從而達到業界領xian的效能

Puma 9000具備高分辨率成像、高速處理和自動化功能,能夠提供精確的測量和用戶友好的界面設計。它結合了光學掃描和高速成像技術,并采用固態線性傳感器,以確保穩定且可重復的測量結果。此外,該系統還支持多種像素尺寸(如sL10, sL15, sL20, sL40和sL60),并配備Nd:Yag 355nm脈沖入射激光器,使其在缺陷檢測方面具有極gao的靈敏度

Puma 9000不僅適用于質量控制和先進材料結構的精密測量,還能顯著提高生產效率和良率。其模塊化和可擴展的設計使其能夠適應不同的生產需求,并通過長期可靠性保證了系統的穩定運行

值得注意的是,盡管Puma 9000已經非常成功,但其后續版本Puma 91xx系列在生產能力、靈敏度和易用性方面都有所改進,幾乎實現了兩倍的生產能力和更高的靈敏度。因此,許多現有的Puma 9000系統可以現場升級到91xx系列的性能水平

總之,KLA-Tencor Puma 9000是一款功能強大且高效的晶圓檢測和計量設備,適用于各種半導體制造過程中的質量控制和材料分析需求。


Puma 9000概述

暗視野成像技術

自動化晶圓檢驗和計量系統

高精度晶圓測試與計量設備

技術特點

Streak™ 暗視野成像技術

集成光學、內置激光干涉儀

高速處理與自動化設計

產品優勢

生產吞吐量提升兩倍

多種像素尺寸支持

Nd:Yag 355nm脈沖入射激光器

應用領域

半導體制造業需求滿足

光學掃描與缺陷檢測能力

高靈敏度缺陷檢測與數據分析報告

用戶體驗

用戶友好的界面設計

長期可靠性保障

未來展望

Recipe優化時間大幅縮短,保護檢查員能力,進一步減少食譜優化周期時間


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