HITACHI S-9260A

臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM），8"晶圓形狀：SEMI或JEIDA打開盒式磁帶裝載機單元電子槍：肖特基發射源加速電壓：300 - 1600 V物鏡：加熱式活動孔徑：4孔可變掃描線圈：2級電磁偏轉圖像分辨率：30 A 時為 3 nm，0.8 Kv散光校正：8極電磁線圈放大倍率范圍：500X - 300,000X測量范圍：0.1 - 2.0 um產量：每小時 65 片晶圓光學顯微鏡：1.2 x 1.2 mm 黑白視圖晶圓載物臺XY 范圍：0“- 8"驅動電機：脈沖電機工作站：HP B2600操作系統： HP-UX 10.20軟件版本 18.35主持人：18.35SEM：18.35IPS的：18.35（4500）IPS_V： 18.35貴賓：07.21.X1階段： 02.05疏散： 02.05高功率：04.02WT：塔茲莫，IC1：05.13L;港鐵-DA1-E：05.08CD重復性模式：0.24,3Sigma：0.761模式：0.48,3Sigma：0.93模式：0.72,3Sigma：0.77模式：0.96,3Sigma：0.85一個圖案晶圓的CD測量，3Sigma：1.22電源顯示冷水機：W5010T（2） Edwards 干泵：負載鎖和試樣室