詳細介紹
KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀
名稱:KSLA-Tencor SFS6420
制造商:KLA-Tencor
尺寸:8英寸
粒子檢測與計數
用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子
提供比0.10 μm更優敏感性的精細度
表面分析工具
設計用于滿足廣泛應用的需求
利用最新光學技術,易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力
高速自動化測試
能實時分析現場條件,適用于在線和離線應用
每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力
多傳感器技術
提供創新的特性,如多傳感器技術
實時信息提供
通過統計分析和趨勢分析為用戶提供與產品質量相關的實時信息
晶圓檢測系統
用于監控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷
PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420
與KLA-Tencor的其他設備兼容,用于PCB組裝板下的WFR檢測
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