HITACHI CG 4100是一種掃描電子顯微鏡(SEM),設計用于提供非常小的物體和粒子的詳細3維圖像。它具有模塊化設計,允許使用一系列不同的檢測器和級來定制配置?;緲嬓桶ㄒ粋€帶電子槍的真空室和一個用于試樣安裝的舞臺。 分辨率:1.8 nm 產量:42片/小時 MAM 時間:2.8 秒 級著陸精度:±1μm
Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM).它專為超精細半導體器件而設計. 以下是一些主要規格和功能: 分辨率:1.8nm(加速電壓:800V) 重復性:±1% 或 0.3 nm (3 sigma)(采用日立標準晶圓) 晶圓尺寸:300mm(200mm) 產量:36 片晶圓/小時(晶圓上有 20 個測量點) 加速電壓:300 - 1600 V
日立S-9300是一款高性能的掃描電子顯微鏡(SEM),用于高精度成像和分析。具體介紹如下: 技術規格與特性: 日立S-9300能實現高達1000至300000倍的放大,提供高分辨率成像。 日立S-9300具有3納米的測量重復性和分辨率,適用于精確的樣品分析
HITACHI S-9260A是一種先進的掃描電子顯微鏡(SEM),設計用于各種研究和印刷應用的最佳性能。它具有的分辨率,非常適合成像微小的顆粒和結構,如蛋白質和病毒。SEM利用電子束生成放置在SEM腔內的樣品圖像。電子與樣品表面相互作用,穿透并導致樣品發射二次電子,然后被檢測到。
性能規格: 圖像分辨率:3nm (30A) at 0.8kv 加速電壓 加速電壓范圍:0.5kv 至 1.3kv 工作距離:固定 放大倍率范圍:1 kx 至 300 kx 測量范圍:0.1 至 2.0 u 重現性:3 nM 測量模式:全功能、多功能 吞吐量:45片/小時 SEM 圖像:1kx 至 300kx,保證重現性 40kx ti 200kx 載物臺位置控制:線性刻度反饋